一般石油化工企业在生产的过程中，都会有组织的排放工艺尾气。石油化工进行在工艺生产过程中排放的尾气形式比较多，特点也比较明显。石油化工企业中排放的工艺尾气中没有氧气，其浓度和流量都比较小。一些浓度较高的工艺尾气回收价值比较高，但是回收的时候要根据实际情况对其进行相应的处理，以便其能够符合再利用的标准。对于浓度较低的工艺尾气，可以直接使用催化燃烧来进行处理。
工艺尾气处理的流程
有机废气首先需要在增压风机的帮助下进入碱洗塔，通过碱液来去除掉催化燃烧剂中的有毒物质，而通过碱洗塔上方的水洗段，能够有效的去除废弃的碱液。经过预处理之后的工艺废气会进入到尾气换热器，并且与高温尾气进行换热反应，并且在催化剂的作用下就会出现催化燃烧反应。然后通过排气筒就可以将处理过后的尾气排放到大气中。进行处理的过程中，需要有循环鼓风机以及循环尾气冷却器，这样尾气在进行尾气换热器的时候能够将温度保持在50℃左右，这样就能够对催化燃烧反应器的温度进行控制。工艺尾气中没有氧气，因此催化燃烧反应需要的氧气就需要鼓风机来从大气中引入。本工艺进行开工预热的时候使用的是电加热器来对尾气进行加热，一直到其温度正常。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。
放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs 又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。
但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因此，目前能成熟的掌握该技术的单位非常少，大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术。
